中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司创立于1958年。公司以创新为理念，经过半个世纪的发展，以真空技术为基础，面向高端科研仪器、半导体、太阳能、LED等高科技、新材料、新能源领域，以装备制造为主业，成为集研发、生产、销售、服务为一体的现代企业。沈阳科仪具备先进的加工设备和检测手段。拥有7000平方米的洁净装调间和特种工艺清洗线;拥有数控加工中心、数控铣床、立式加工中心等先进的各类加工制造设备100余台;拥有三坐标测量仪、卧式平衡仪、振动/噪声测试实验台、氦质谱检漏仪等国际先进水平的大型检测试验仪器设备50余台。主要产品: 一、高端产业真空应用设备。晶体制备设备:蓝宝石晶体炉、碳化硅晶体炉、硅/锗单晶炉设备等;薄膜制备设备:电子束蒸发、磁控溅射、硬碳膜设备等;二、科研类真空应用设备:各种PVD、CVD薄膜制备设备，真空冶金设备等;三、干式真空获得设备:系列干式真空泵机组、涡旋干泵、螺杆泵、离子泵、超高真空插板阀，及真空部件等。